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- 城市建设理论研究（电子版）
硅片酸腐蚀过程中去除速率的控制
作者：王亚东
作者单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
摘要：本文主要介绍了使用酸腐机对硅片进行的酸腐蚀实验。通过混酸的温度和混酸中溶液的配比的改变、相同的条件下也会得到不同 的腐蚀速率。硅片晶向对酸腐蚀速率基本没有影响。并为寻求以后稳定的酸腐蚀工艺奠定了基础。
关键词：酸腐蚀，硅片，HNA 腐蚀
DOI：10.19569/j.cnki.cn119313/tu.0
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《城市建设》 国际标准刊号：ISSN 1674-781X 国内统一刊号：CN 11-5897/F
《城市建设理论研究（电子版）》 国际标准刊号：ISSN 2095-2104 国内统一刊号：CN 11-9313/TU
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